Flachsauger für Computerchips

Wie reinigt man mehrschichtige, 10-20 µm dicke Computerchips ohne dass sie brechen?

Die Idee für den dargestellten Showcase entstand im Dezember 2013. Bei der Entwicklung musste die fix vorgegebene Position des Bauteils und Schnittstellen mit wenig Platz berücksichtigt werden. Zudem konnte durch eine ausgeklügelte Geometrie die Integration eines ESD-Ionisator realisiert werden. Diese dient zur Reduktion der elektrostatischen Ladung und verhindert somit das Anhaften von Staubpartikeln auf den Computerchips.

Der erste Prototyp wurde bereits im Jänner 2014 an einen Kunden zur Evaluierung im Betrieb geliefert. Hier wurde schon beim ersten Bauteil die ideale Form festgestellt. Trotzdem können kundenspezifische Wünsche und Anpassungen an der Geometrie innerhalb von nur einer Stunde realisiert werden.

Durch die schnelle Erprobung und Qualifikation bei den Kunden in den letzten 2 Jahren, kann heute die Lösung als Standard Option geordert werden.